焦继伟
【姓名】 焦继伟
【职称】 研究员;
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;仪器仪表工业;
【研究方向】 MEMS和NEMS的研究
【发表文献关键词】 微机械陀螺,闭环驱动,自动增益控制电路,差分电容,双端固支硅纳米梁,压阻检测,Ar离子轰击,谐振特性,子结构方法,检测电容,工艺误差,接口电路,硅纳米线,微陀螺,MEMS技术,表面吸附,谐振频率,系统...
【工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【曾工作单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【所在地域】 上海
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中国期刊全文数据库    共找到45篇
[1]吴焕铭;尹韬;杨海钢;焦继伟;俞建成;.基于双通道解调相位校准技术的MEMS陀螺仪接口电路芯片[J]中国惯性技术学报.2015,(06)
[2]秦嵩;焦继伟;王敏昌;钱清;.圆片级封装铝锗键合后残余应力的测量和分析[J]传感器与微系统.2016,(10)
[3]刘文俊;王敏昌;秦嵩;颜培力;宓斌伟;张颖;张铁军;焦继伟;.硅基电磁式MEMS微扬声器结构设计和制作[J]磁性材料及器件.2014,(02)
[4]王婧洁;徐甲强;焦继伟;.FIB刻蚀对电化学制备多孔硅的影响[J]上海大学学报(自然科学版).2014,(03)
[5]熊磊;焦继伟;葛道晗;宓斌伟;张轩雄;.新型MEMS质量传感器的研究[J]仪表技术与传感器.2011,(08)
[6]陈平;焦继伟;葛道晗;王跃林;.有机溶剂在P型宏多孔硅电化学腐蚀中的应用研究[J]传感器与微系统.2011,(11)
[7]李金鹏;焦继伟;宓彬伟;张颖;王跃林;.用于MEMS惯性器件的低噪声读出电路设计[J]半导体技术.2009,(12)
[8]包晓清;葛道晗;张圣;李金鹏;周萍;焦继伟;王跃林;.Fast pore etching on high resistivity n-type silicon via photoelectrochemistry[J]Chinese Physics B.2009,(02)
[9]尹韬;杨海钢;张翀;吴其松;焦继伟;宓斌玮;.一种用于电容型体硅微陀螺的低噪声读出电路芯片[J]电子与信息学报.2010,(01)
[10]董林玺;焦继伟;颜海霞;孙玲玲;.新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究[J]电子学报.2010,(05)
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中国重要会议全文数据库    共找到2篇
[1]王跃林;王渭源;李昕欣;焦继伟;陆德仁;熊斌;罗乐;吴亚明;李铁;杨建义;.传感技术联合国家重点实验室的MEMS及传感器工作[A].第一届长三角地区传感技术学术交流会论文集.2004-11-01
[2]焦继伟;夏保佳;王跃林;.MEMS与移动通信[A].中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集.2004-07-01
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承担国家科研项目    共找到4个
[1]金建东;焦继伟;丁桂甫;郭斌;李勇;朱枫;罗先刚;王振龙;陈林森;丁玉成;郭守武;王晓雷;周明;金玉丰;王翔;胡乾午;王铀;.微纳米加工技术[A].华东理工大学;上海交通大学;华中科技大学;江苏大学;中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国科学院光电技术研究所;中国科学技术大学;北京大学;哈尔滨工业大学;.项目经费 1000万元.2006-09-20.资助文献数 0 篇
[2]焦继伟;.自上而下的微纳制造原理与方法[A].中国科学院上海微系统与信息技术研究所;.项目经费 0.2006-02-28.资助文献数 4 篇
[3]焦继伟;.基于简并－解并原理的自参比高灵敏度生化检测微陀螺[A].中国科学院上海微系统与信息技术研究所;.项目经费 30万元.2007-03-31.资助文献数 0 篇
[4]焦继伟;.硅基宏孔光辅助电化学快速腐蚀机理研究[A].中国科学院上海微系统与信息技术研究所;.项目经费 33万元.2008-03-20.资助文献数 0 篇
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