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自上而下的微纳制造原理与方法
自上而下的微纳制造原理与方法
【项目名称】 自上而下的微纳制造原理与方法
【项目编号】 2006CB300403
【项目目标】
【项目关键词】 制造原理 力学常数 初始应变 谐振特性 分子动力学方法 谐振能量 梁结构 杨氏模量 MEMS系统 谐振频率 传感器 热运动 分子动力学 连续介质 基础研究 纳米 动能 体表比 统计计算方法 牛顿方程 经验公式 中原 力学结构 近似结果 有限元方法 商用化 静态和动态特性 组成物 分子
【项目承办单位】 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
【项目负责人】 焦继伟;
【项目来源】 国家重点基础研究发展计划（973计划）项目
【涉及学科】 自动化技术
【科研经费】 0
【所属大项目】 BNI融合的微纳传感器及其系统基础研究
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 科学技术部
    【发布时间】 2005-12-26
    【申请截止时间】 2006-02-28
    【立项时间】
    【完成时间】
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 http://www.973.gov.cn/ReadItem.aspx?itemid=350
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