茹国平
【姓名】 茹国平
【职称】 教授;
【研究领域】 无线电电子学;物理学;仪器仪表工业;
【研究方向】 微电子薄膜研究
【发表文献关键词】 固相外延,金属硅化物,W-Si-N,扩散阻挡层,固相反应,CoSi,铜互连,金属诱导结晶,非晶,固相结晶,晶格失配,外延生长,半导体器件物理,Ti/Si,热稳定性,锗硅,固相,接触特性,原子,CoSi...
【工作单位】 复旦大学
【曾工作单位】 复旦大学;
【所在地域】 上海
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