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多层薄膜固相反应与Co-Ni系硅化物薄膜外延及应用研究
多层薄膜固相反应与Co-Ni系硅化物薄膜外延及应用研究
【项目名称】 多层薄膜固相反应与Co-Ni系硅化物薄膜外延及应用研究
【项目编号】 60106002
【项目目标】
【项目关键词】 多晶锗硅 薄膜外延 硅化物 多层薄膜 固相反应 锗硅 肖特基接触 接触特性 非晶锗 pol 淀积 钴镍 热扩散 金属 肖特基势垒高度 整流接触 离子束溅射淀积 磷掺杂 化学气相淀积 杂质激活 表面沟道 低压化学气相淀积 接触参数 NMOS 等离子体增强化学气相淀积 MOS晶体管 快速热退
【项目承办单位】 复旦大学;
【项目负责人】 茹国平;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 18万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-01-16
    【申请截止时间】 2001-03-31
    【立项时间】 2002-01
    【完成时间】 2004-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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