吴文刚
【姓名】 吴文刚
【职称】 教授;
【研究领域】 无线电电子学;仪器仪表工业;无机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】 各向异性腐蚀,光纤自定位保持结构,腐蚀速率,激活能,扭转微镜,扭转微镜光学致动器,混合微加工,模型,硅,光开关,MEMS,硅各向异性腐蚀,微机械加工,微机电系统,氢氧,单晶硅,电镀铜,微镜,物理,机电...
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京
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中国期刊全文数据库    共找到15篇
[1]毛逸飞;吴文刚;徐军;.聚焦离子束致形变微纳加工研究进展[J]电子显微学报.2016,(04)
[2]毛逸飞;王志强;赵路睿;吴文刚;徐军;.基于FIB-SID技术的三维金属无源电感制备与测试[J]中国材料进展.2013,(12)
[3]蔡金宝;王金延;刘洋;徐哲;王茂俊;于民;解冰;吴文刚;.A novel oxidation-based wet etching method for AlGaN/GaN heterostructures[J]Journal of Semiconductors.2013,(08)
[4]贾嵩;吴文刚;吉利久;.如何写好科技论文的英文摘要[J]中国集成电路.2009,(05)
[5]吴文刚;李轶;黄风义;韩翔;张少勇;李志宏;郝一龙;.表面镀铜悬浮厚单晶硅螺线MEMS电感(英文)[J]半导体学报.2006,(04)
[6]陆静学;黄风义;王志功;吴文刚;.MOSFET表面势解析近似方法的改进(英文)[J]半导体学报.2006,(07)
[7]栗大超;吴文刚;袁勇;郝一龙;胡小唐;.基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征(英文)[J]纳米技术与精密工程.2006,(02)
[8]栗大超;吴文刚;袁勇;陈庆华;郝一龙;胡小唐;.基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜(英文)[J]传感技术学报.2006,(05)
[9]赖西湖;徐军;吴文刚;经光银;郝一龙;.FIB加工的三维单晶硅纳米螺旋的机械特性[J]纳米技术与精密工程.2007,(04)
[10]姜岩峰,黄庆安,吴文刚,郝一龙,杨振川.硅各向异性腐蚀模型及其模拟进展[J]仪器仪表学报.2003,(01)
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中国重要会议全文数据库    共找到2篇
[1]吴文刚;.纳米森林的制备及应用[A].2010年第四届微纳米海峡两岸科技暨纳微米系统与加工制备中的力学问题研讨会摘要集.2010-08-01
[2]栗大超;吴文刚;闫桂珍;傅星;郝一龙;胡小唐;.硅微机械扭转微镜的研究进展[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
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承担国家科研项目    共找到4个
[1]吴文刚;.基于聚焦离子束应力引入技术的三维纳米结构成型方法及理论研究[A].北京大学;.项目经费 40万元.2007-03-31.资助文献数 0 篇
[2]吴文刚;.MEMS光开关光可变衰减器单片集成的理论与技术研究[A].北京大学;.项目经费 31万元.2002-03-31.资助文献数 2 篇
[3]吴文刚;.结构一体化光开关、光可变衰减、光可调功率分配多功能MEMS器件理论与结构研究[A].北京大学;.项目经费 30万元.2008-03-20.资助文献数 0 篇
[4]吴文刚.射频MEMS无源元器件铜互连及其建模技术研究[A].北京大学.项目经费 40万元.2003-03-31.资助文献数 0 篇
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