| 【项目名称】 |
射频MEMS无源元器件铜互连及其建模技术研究 |
| 【项目编号】 |
90307007 |
| 【项目目标】 |
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| 【项目关键词】 |
建模技术;铜互连;元器件;射频; |
| 【项目承办单位】 |
北京大学 |
| 【项目负责人】 |
吴文刚 |
| 【项目来源】 |
国家自然科学基金项目 |
| 【涉及学科】 |
无线电电子学; |
| 【科研经费】 |
40万 |
| 【所属大项目】 |
半导体集成化芯片系统基础研究计划 |
| 【项目参与研究人员】 |
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| 【项目参与研究机构】 |
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| 【项目成果摘要】 |
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| 【发布单位】 |
国家自然科学基金委员会 |
| 【发布时间】 |
2002-12-16 |
| 【申请截止时间】 |
2003-03-31 |
| 【立项时间】 |
2004-01 |
| 【完成时间】 |
2006-12 |
| 【申请条件】 |
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| 【联系方式】 |
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| 【项目信息来源】 |
http://www.nsfc.gov.cn/nsfc/cen/xmzn/2003ms/zdyjjh/005.htm |