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MEMS光开关光可变衰减器单片集成的理论与技术研究
MEMS光开关光可变衰减器单片集成的理论与技术研究
【项目名称】 MEMS光开关光可变衰减器单片集成的理论与技术研究
【项目编号】 60278028
【项目目标】
【项目关键词】 MEMS光开关 光可变衰减器 微镜 机电耦合特性 静电驱动 单片集成 梳齿 扭转微镜 光学反射 理论与技术 梳齿驱动器 拐点电压 折叠梁 内旋转 驱动结构 吸合 SOI 硅微机械 阈值电压 驱动器 硅片 器件 表面粗糙度 扭转弹性 吸合电压 扭转角度 硅微加工 平板 入射光束 微加工工艺
【项目承办单位】 北京大学;
【项目负责人】 吴文刚;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学;仪器仪表工业
【科研经费】 31万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-12-04
    【申请截止时间】 2002-03-31
    【立项时间】 2003-01
    【完成时间】 2005-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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