Fu
【姓名】 Fu
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 等离子体浸没离子注入,鞘层,粒子模型,上升沿,脉冲偏压,电场强度,离子注入能,离子注入剂量,动力学,数值仿真,工艺优化,阶梯电位,材料表面改性,脉冲上升,扩展速率,边缘区域,时空演化,扩展规律,脉冲宽...
【工作单位】 香港城市大学
【曾工作单位】 香港城市大学;
【所在地域】 香港
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[1]黄永宪;田修波;杨士勤;Fu Ricky;Chu K.Paul;.脉冲偏压上升沿特性对等离子体浸没离子注入鞘层扩展动力学的影响[J]物理学报.2007,(08)
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