陈宝钦
【姓名】 陈宝钦
【职称】 研究员;教授;
【研究领域】 无线电电子学;物理学;计算机软件及计算机应用;
【研究方向】 电子束光刻及纳米微细加工
【发表文献关键词】 掩模,电子束光刻,二维电子气,投影光刻,AlGaN/GaN异质结,微细加工,SiNx薄膜,临近效应,邻近效应,抗蚀剂,散射角,异质结,极化,电子束,光刻掩模,线条图形,2DEG,极化行为,AlGaN,...
【工作单位】 中国科学院微电子研究所
【曾工作单位】 中国科学院微电子研究所;
【所在地域】 北京
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/53 35 45 6 375 19269
中国期刊全文数据库    共找到50篇
[1]陈宝钦;.光刻技术六十年[J]激光与光电子学进展.2022,(09)
[2]赵健;董连和;朱效立;谢常青;陈宝钦;史佩雄;.大高宽比微纳结构制备关键技术[J]微纳电子技术.2016,(10)
[3]于明岩;赵士瑞;景玉鹏;施云波;陈宝钦;.A method to restrain the charging effect on an insulating substrate in high energy electron beam lithography[J]Journal of Semiconductors.2014,(12)
[4]于明岩;施云波;赵士瑞;郭晓龙;徐昕伟;景玉鹏;陈宝钦;.应用微波技术抑制光刻胶图形的坍塌与黏连[J]光学精密工程.2015,(01)
[5]何宽;易涛;刘慎业;牛洁斌;陈宝钦;朱效立;.高线密度X射线双光栅的研制[J]微纳电子技术.2014,(06)
[6]尹聿海;徐林;王鹏;罗媛;杨宁;史俊锋;于明岩;陈宝钦;.液晶光学相控阵子阵列寻址电极的加工工艺[J]微纳电子技术.2014,(08)
[7]刘锦景;刘道亚;董建峰;张斌;何如双;陶卫东;陈宝钦;.平面手征结构的旋光度精密测量[J]光电子.激光.2014,(09)
[8]赵珉;刘桂英;陈宝钦;牛洁斌;.电子束零宽度线曝光及其应用[J]微纳电子技术.2013,(02)
[9]赵珉;朱齐媛;陈宝钦;牛洁斌;.新型抗蚀剂的电子束曝光性能研究[J]半导体技术.2013,(06)
[10]张斌;徐荣祥;王培卿;潘雪丰;陶卫东;董建峰;陈宝钦;.复杂形貌亚波长阵列的周期长度测量研究[J]光电子.激光.2013,(09)
更多
中国重要会议全文数据库    共找到2篇
[1]谢常青;朱效立;牛洁斌;李海亮;刘明;陈宝钦;胡媛;史丽娜;.微纳光学结构制备技术及应用[A].中国光学学会2011年学术大会摘要集.2011-09-05
[2]龙世兵;李志刚;王丛舜;谢长青;张立辉;易里成荣;陈宝钦;赵新为;刘明;.一种SOI基平面侧栅单电子晶体管的制作方法[A].科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集.2004-06-30
更多
承担国家科研项目    共找到1个
[1]张满红;刘明;吴金刚;王慰;代月花;陈宝钦;龙世兵;张建宏;王琴;牛洁斌.CTM存储芯片集成技术研究[A].中国科学院微电子研究所.项目经费 541.59万元.2009-03-31.资助文献数 0 篇
更多