卢德江
【姓名】 卢德江
【职称】 讲师;
【研究领域】 仪器仪表工业;材料科学;电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微电机械系统(MEMS),测量,滑移流动,内应力,微型槽,工艺流程,平行平板,压强分布,表面硅微器件,掩膜,生成方法,光纤,三维特征,微机电系统,SolidWorks,杨氏,杨氏模量,掩膜版,平均自由...
【工作单位】 西安交通大学
【曾工作单位】 西安交通大学;
【所在地域】 西安
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[1]高文迪;乔智霞;韩香广;王小章;Adnan Shakoor;刘存朗;卢德江;杨萍;赵立波;王永录;王久洪;蒋庄德;孙东;.基于自解耦三明治结构的横向运动栅场效应晶体管MEMS微力传感器（英文）[J]Engineering.2023,(02)
[2]王琛英;卢德江;杨树明;林启敬;蒋庄德;.微小空间点火装置的设计(英文)[J]纳米技术与精密工程.2012,(01)
[3]张长富;蒋庄德;卢德江;任泰安;王久洪;.基于三维特征的微机电系统器件结构设计方法[J]西安交通大学学报.2007,(05)
[4]张长富;任泰安;卢德江;蒋庄德;.表面硅微器件中掩膜和工艺流程的自动生成方法[J]西安交通大学学报.2007,(09)
[5]蒋庄德;王久洪;卢德江;.微型旋转冲压发动机设计与分析[J]机械工程学报.2008,(11)
[6]韦学勇,卢德江,蒋庄德.平行平板微型槽间气体的滑移流动[J]微纳电子技术.2005,(03)
[7]蒋庄德,卢德江,王小斌,陈伟.微型梁杨氏模量与内应力的固有频率法测量[J]西安交通大学学报.2000,(05)
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承担国家科研项目    共找到1个
[1]卢德江;.针对高深宽比硅微结构等离子体低温刻蚀技术研究[A].西安交通大学;.项目经费 23万元.2002-03-31.资助文献数 2 篇
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