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夏洋

【姓名】	夏洋
【职称】	研究员;
【研究领域】	无线电电子学;金属学及金属工艺;化学;
【研究方向】	微电子工艺及装备
【发表文献关键词】	溅射气压,NiFe薄膜,ULSI铜互连,各向异性磁电阻,扩散阻挡层,单电子器件,界面反应,矫顽力,X射线光电子能谱,内应力,扫描近场声学显微镜,纳米电子器件,坡莫合金薄膜,纳米电子学,Cu互连线,铜互...
【工作单位】	中国科学院微电子研究所
【曾工作单位】	中国科学院微电子研究所;
【所在地域】	北京

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
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中国期刊全文数据库 共找到83篇

[1]宋肖枫;陈焰;明帅强;夏洋;.基于云服务器的原子层沉积远程监控系统设计[J]现代电子技术.2023,(07)

[2]闫恒彬;陈焰;明帅强;夏洋;.红外加热吸附反应外延系统的温度均匀性研究[J]激光与红外.2023,(03)

[3]谭明生;明帅强;吴雨菲;卢维尔;李艳丽;孔祥东;刘海岗;夏洋;韩立;.原子层沉积与聚焦离子束切片法制备X射线波带片[J]光学学报.2023,(11)

[4]肖帅兵;夏洋;周兰江;明帅强;.改进PSO-PID神经网络在精馏塔温度控制中的应用[J]化工自动化及仪表.2023,(04)

[5]明帅强;王浙加;吴鹿杰;冯嘉恒;高雅增;卢维尔;夏洋;.原子层沉积法制备SnO_2薄膜及其对钙钛矿电池性能的影响[J]材料导报.2022,(07)

[6]王玥;陈楠;王博雨;刘涛;夏洋;.基于激光驱动等离子体光源的近红外傅里叶变换光谱系统[J]光谱学与光谱分析.2022,(06)

[7]李磊;张明烨;冷兴龙;张凌云;夏洋;刘涛;.Qplus传感器工艺误差影响的仿真分析[J]传感器与微系统.2022,(10)

[8]吴鹿杰;文庆涛;高雅增;卢维尔;夏洋;李艳丽;孔祥东;韩立;.基于原子层沉积技术的高精度多层膜X射线菲涅尔波带片的制备研究[J]光子学报.2021,(01)

[9]明帅强;文庆涛;高雅增;闫美菊;卢维尔;夏洋;.基于原子层沉积技术制备氧化钽薄膜及其特性研究[J]材料导报.2021,(06)

[10]陈楠;王玥;王博雨;夏洋;刘涛;.基于COMSOL的纳米傅里叶红外光谱系统数值模型[J]光谱学与光谱分析.2021,(04)

中国重要会议全文数据库 共找到9篇

[1]夏洋;明帅强;李明;屈芙蓉;张凌云;何萌;郭耀亮;沈云华;陶晓俊;.大尺寸ALD技术及在钙钛矿电池产业的应用[A].第三届全国太阳能电池材料与器件大会论文集.2023-04-28

[2]明帅强;郭耀亮;夏洋;.原子层沉积技术发展及在钙钛矿电池的应用[A].第二届全国太阳能电池材料与器件大会论文集.2022-07-28

[3]夏洋;.原子层沉积技术及应用[A].第八届中国功能材料及其应用学术会议摘要.2013-08-23

[4]贾毅;杨忙;卢维尔;计峰;李超波;方攸同;夏洋;.原子层沉积的阳极氧化铝封孔抗腐蚀应用研究[A].2014中国功能材料科技与产业高层论坛摘要集.2014-08-26

[5]卢维尔;贾毅;李超波;夏洋;李楠;张艳清;.原子层沉积技术中电场对ZnO薄膜结晶性能的调制研究[A].2014中国功能材料科技与产业高层论坛摘要集.2014-08-26

[6]汪明刚;刘杰;杨威风;李超波;夏洋;.等离子体浸没注入超低能注入掺杂研究[A].2010’全国半导体器件技术研讨会论文集.2010-07-16

[7]罗巍;屈芙蓉;李超波;夏洋;.晶圆黏着键合技术研究进展及其应用[A].2010’全国半导体器件技术研讨会论文集.2010-07-16

[8]贾少霞;杨景华;李超波;夏洋;王守国;.常压射频介质阻挡等离子体喷枪放电特性及去胶影响因素研究[A].第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集.2013-08-15

[9]杨景华;贾少霞;李超波;夏洋;王守国;.常压射频介质阻挡等离子体去除光刻胶前后的FTIR分析[A].第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集.2013-08-15

承担国家科研项目 共找到4个

[1]夏洋;赵毅;.硅上有机发光微显示器件及其物理研究[A].吉林大学;中国科学院微电子研究所;.项目经费 0.2003-03-28.资助文献数 39 篇

[2]夏洋;.等离子体掺杂离子注入机[A].中国科学院微电子研究所;.项目经费 140万元.2007-03-31.资助文献数 0 篇

[3]夏洋;.InP HBT双自对准转移衬底方法研究[A].中国科学院微电子研究所;.项目经费 25万元.2006-03-27.资助文献数 0 篇

[4]夏洋;.ULSI中铜互连线的研究[A].中国科学院微电子研究所;.项目经费 100万元.1999-03-31.资助文献数 9 篇