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ULSI中铜互连线的研究
ULSI中铜互连线的研究
【项目名称】 ULSI中铜互连线的研究
【项目编号】 69936020
【项目目标】
【项目关键词】 互连线 铜互连线 电徙动 ULSI Cu互连线 电迁徙 同步辐射源 RC延迟 电子背散射衍射 VLSI 拉应力 显微结构 晶粒结构 EBSD 退火工艺 引线 晶体学 X射线衍射技术 压应力 互连 频率性能 大马士革 晶界 电流密度 中值寿命 失效特征 IC器件 阳极端 金属互连 互连延迟 互连材料 取
【项目承办单位】 中国科学院微电子研究所;
【项目负责人】 夏洋;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 100万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 1999-01-16
    【申请截止时间】 1999-03-31
    【立项时间】 2000-01
    【完成时间】 2003-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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