金春水
【姓名】 金春水
【职称】 研究员;
【研究领域】 仪器仪表工业;物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】 紫外、极紫外光学技术方面的研究
【发表文献关键词】 极紫外投影光刻,光学系统装调,多层膜,软X射线,奇异值分解,Schwarzschild投影物镜,离轴照明,投影物镜,计算机辅助装调,投影光刻,装调,极紫外,掩模,Schwarz,硬X射线,均匀性,周期...
【工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【曾工作单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【所在地域】 吉林长春
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