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极紫外多层膜闪耀光栅制备方法研究
极紫外多层膜闪耀光栅制备方法研究
【项目名称】 极紫外多层膜闪耀光栅制备方法研究
【项目编号】 60678034
【项目目标】
【项目关键词】 多层膜光栅 极紫外多层膜 闪耀光栅 极紫外 多层膜反射镜 软X射线 高反射率 制备方法 光学元件 软X射线多层膜 衍射特性 高光谱分辨率 多层膜 衍射光栅 光栅 天文学 光学系统 多色仪 天然晶体 光电工程 软X射线显微术 掠入射光学 极紫外投影光刻 分光元件 波段辐射 吸收长度
【项目承办单位】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
【项目负责人】 金春水;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 仪器仪表工业
【科研经费】 31万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2005-12-30
    【申请截止时间】 2006-03-27
    【立项时间】 2007-01
    【完成时间】 2009-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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