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雷红
【姓名】
雷红
【职称】
研究员;
【研究领域】
材料科学;金属学及金属工艺;计算机硬件技术;
【研究方向】
CMP技术
【发表文献关键词】
化学机械抛光,抛光液,表面微加工,平整化,盘基,化学机械,纳米SiO2粒子,CMP机,玻璃基片,抛光技术,抛光,纳米级,化学机械抛光(CMP),表面改性,纳米CeO_2,超细氧化铝,抛光性能,纳米氧化...
【工作单位】
上海大学
【曾工作单位】
上海大学;
【所在地域】
上海
学术成果产出统计表
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核心期刊论文数
基金论文数
第一作者篇数
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学术成果产出明细表
中国期刊全文数据库
共找到26篇
[1]代三威;雷红;付继芳;.
Y~(3+)掺杂二氧化硅磨料的合成及其在氧化锆陶瓷中的化学机械抛光行为
[J]上海大学学报(自然科学版).2024,(01)
[2]张佩嘉;雷红;.
单晶SiC的化学机械抛光及辅助技术的研究进展
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[3]董越;雷红;刘文庆;.
哑铃形氧化硅磨粒的制备及其化学机械抛光性能
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[4]丁振宇;雷红;.
锆元素诱导非球形磨粒对氧化锆陶瓷的化学机械抛光性能
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[5]陈入领;王瑶;雷红;.
动压载荷下受限纳米水膜流动特性的分子动力学仿真研究
[J]摩擦学学报.2016,(06)
[6]雷红;.
计算机硬盘基片CMP中表面膜特性的分析研究
[J]无机化学学报.2009,(02)
[7]雷红;司马能;屠锡富;布乃敬;严琼林;吴鑫;.
氧化硅/氧化铁复合磨粒用于硬盘基片的抛光研究
[J]摩擦学学报.2010,(03)
[8]雷红;司马能;袁国兴;屠锡富;布乃敬;藏松涛;.
计算机硬盘基片的化学机械清洗技术研究
[J]半导体技术.2010,(08)
[9]雷红;张鹏珍;卢海参;.
纳米氧化硅在玻璃基片表面亚纳米级抛光中的应用
[J]润滑与密封.2006,(01)
[10]王亮亮;路新春;潘国顺;黄义;雒建斌;雷红;.
硅片化学机械抛光中表面形貌问题的研究
[J]润滑与密封.2006,(02)
更多
中国重要会议全文数据库
共找到6篇
[1]袁晓玥;雷红;郝萍;肖保其;仝开宇;.
硅铝铈氧化物复合磨粒的设计及抛光性能
[A].中国稀土学会2021学术年会论文摘要集.2021-10-22
[2]雷红;.
化学机械抛光技术及其在电子制造中的应用
[A].2009年全国电子电镀及表面处理学术交流会论文集.2009-11-01
[3]方亮;赵蓉;任小艳;雷红;陈入领;.
无磨粒化学机械抛光的研究进展
[A].第十一届全国摩擦学大会论文集.2013-08-06
[4]张朝辉;雒建斌;雷红;.
化学机械抛光中的纳米级薄膜流动
[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(二).2005-08-01
[5]雷红;.
纳米氧化硅化学机械抛光液的制备与应用
[A].中国光学学会2006年学术大会论文摘要集.2006-09-01
[6]胡晓莉;雷红;.
纳米金刚石粒子表面修饰及其摩擦学性能
[A].第八届全国摩擦学大会论文集.2007-11-01
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承担国家科研项目及科技成果产出
承担国家科研项目
共找到3个
[1]雷红;.
计算机硬盘基片原子级平整表面污染物的作用机制与超精密清洗技术
[A].上海大学;.项目经费 24万元.2007-03-31.资助文献数
2
篇
[2]雷红;.
原子级抛光中的抛光液设计及摩擦化学机理
[A].上海大学;.项目经费 24万元.2005-03-31.资助文献数
5
篇
[3]雷红.
纳米多孔复合磨粒设计及其化学机械抛光机理研究
[A].上海大学.项目经费 50万元.2009-03-20.资助文献数
0
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