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原子级抛光中的抛光液设计及摩擦化学机理
原子级抛光中的抛光液设计及摩擦化学机理
【项目名称】 原子级抛光中的抛光液设计及摩擦化学机理
【项目编号】 50575131
【项目目标】
【项目关键词】 摩擦化学机理 抛光液 抛光 超细氧化铝 玻璃基片 纳米氧化硅 化学机械抛光 材料去除量 抛光性能 形貌仪 下盘 纳米CeO2 超光滑 亚纳米 原子 去除量 微观缺陷 划痕 表面改性 转速 粗糙度 TOF-SIMS 压力变化趋势 高氧化铝 纳米氧化铈 丙烯酰氯 数字光盘 外加压力 平均晶粒度 ?
【项目承办单位】 上海大学;
【项目负责人】 雷红;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 材料科学
【科研经费】 24万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-12-07
    【申请截止时间】 2005-03-31
    【立项时间】 2006-01
    【完成时间】 2008-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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