张敬平
【姓名】 张敬平
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子沟道,异质结,沟道,外延层,离子束混合,硅化物,底沟,InGaAs/GaAs,高密勒指数,态密度,离子注入,粒子,背散射,角扫描,GaAs,As离子注入,产额,原子,Si系,金属硅化物,键态,临界...
【工作单位】 中国科学院半导体研究所
【曾工作单位】 中国科学院半导体研究所;
【所在地域】 北京
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[1]殷士端,张敬平,顾铨,钟士谦,王振明,谢葆珍,刘世杰.用背散射测量砷注入单晶硅中的浓度分布[J]微细加工技术.1983,(01)
[2]谢葆珍,刘世杰,张敬平,殷士端,顾诠,戴爱平.用背散射实验技术分析Pt/GaAs接触界面[J]半导体学报.1984,(01)
[3]王豫生,阎建华,郑胜男,殷士端,张敬平,顾诠,代爱平,谢葆珍,刘士杰.沟道效应及某些应用的研究[J]核技术.1987,(06)
[4]殷士端,张敬平,顾诠,许振嘉,刘家瑞,章其初,李大万.Si中注Pb的红外瞬态退火[J]半导体学报.1987,(03)
[5]殷士端,张敬平,顾诠,许振嘉,刘家瑞,章其初,李大万.Si中注入Zn的辐射损伤[J]半导体学报.1987,(04)
[6]朱沛然,刘家瑞,张敬平,殷士端.MeV He~+微束用于半导体集成电路的微区分析[J]半导体学报.1987,(06)
[7]殷士端,张敬平,顾诠,陆珉华.硅中注铅的连续CO_2激光退火行为[J]半导体学报.1987,(06)
[8]吴春武,殷士端,张敬平,肖光明,刘家瑞,朱沛然.InGaAs/GaAs应变异质结中的反常离子沟道效应[J]物理学报.1989,(01)
[9]殷士端,吴春武,张敬平,刘家瑞,朱沛然.In_(0.25 )Ga_(0.75)As/GaAs应变异质结的离子沟道分析[J]半导体学报.1989,(01)
[10]张瑞勤,王家俭,戴国才,吴汲安,张敬平,邢益荣.Si(113)表面电子结构的研究[J]半导体学报.1989,(09)
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[1]王豫生;阎建华;郑胜男;殷士端;张敬平;顾诠;代爱平;谢宝珍;刘士杰;.沟道背散射技术在半导体材料分析中的应用[A].第五次核物理会议资料汇编(上册).1982-11-01
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