辛煜
【姓名】 辛煜
【职称】 教授;
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 感应耦合等离子体,光刻胶,刻蚀速率,刻蚀选择性,朗谬尔探针,衍射光栅,法拉第筒,发射光谱,电子温度,CHF3,归一化,CF_4,碳氟聚合物,感应耦合,SiCOH薄膜,Si—OH结构,介电性能,ECR放...
【工作单位】 苏州大学
【曾工作单位】 苏州大学;
【所在地域】 苏州
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[5]周瑜;操礼阳;马晓萍;邓丽丽;辛煜;.脉冲射频容性耦合氩等离子体的发射探针诊断[J]物理学报.2020,(08)
[6]顾婷婷;辛煜;王海波;杨瑞枝;.锂离子电池高电压正极材料LiNi_(0.5)Mn_(1.5)O_4的铬氧化物表面包覆研究[J]电池工业.2019,(01)
[7]王涛;王俊;唐成双;杨郁;辛煜;.容性耦合电负性氧等离子体的激光诱导光致剥离技术诊断研究[J]核聚变与等离子体物理.2017,(01)
[8]杨郁;唐成双;赵一帆;虞一青;辛煜;.甚高频激发的容性耦合Ar+O_2等离子体电负特性研究[J]物理学报.2017,(18)
[9]王俊;王涛;唐成双;辛煜;.甚高频激发容性耦合氩等离子体的电子能量分布函数的演变[J]物理学报.2016,(05)
[10]姜刘洋;王涛;王俊;辛煜;.等离子体织构化的n-Si与P3HT组成杂化太阳能电池的性能研究[J]真空科学与技术学报.2015,(09)
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[1]杨郁;赵一帆;辛煜;.容性耦合Ar+O2等离子体的激光诱导负离子剥离诊断研究[A].第十八届全国等离子体科学技术会议摘要集.2017-07-26
[2]辛煜;孙恺;宁兆元;.甚高频激发容性耦合等离子体的放电特性[A].第十三届全国等离子体科学技术会议论文集.2007-08-20
[3]辛煜;吉亮亮;陈豫;江美福;宁兆元;.水溶液中射频等离子体放电、光谱诊断与废水降解[A].第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集.2009-07-20
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[5]吉亮亮;邹帅;辛煜;.水下射频等离子体的放电特征及有机物降解的应用研究[A].第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集.2011-08-08
[6]庞见华;陆文琪;王行行;贺佳;辛煜;徐军;.微波ECR等离子体增强溅射沉积类金刚石薄膜的在线诊断[A].第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集.2011-08-08
[7]洪布双;苑涛;唐中华;徐东升;虞一青;辛煜;.电负性气体的掺入对容性耦合Ar等离子体的影响[A].第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集.2013-08-15
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[9]狄小莲;辛煜;叶超;宁兆元;.单线圈感应耦合等离子体功率转换效率的研究[A].中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集.2004-11-01
[10]辛煜;鲁涛;叶超;宁兆元;.SiNx薄膜的制备、结构及其光学性能研究[A].中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集.2004-11-01
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[2]辛煜;.多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究[A].苏州大学;.项目经费 32万元.2003-03-31.资助文献数 11
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