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多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究
多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究
【项目名称】 多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究
【项目编号】 10305008
【项目目标】
【项目关键词】 感应耦合等离子体 多线 功率耦合 耦合特性 变压器模型 非晶碳化 线圈 感应耦合等离子体源 硅薄膜 朗谬尔探针 螺旋天线 电学参量 耦合效率 电感量 气体流量比 放电 平板型 多源 谱线强度 Q值 几何尺寸 等离子体 气压 CH4 介电常数 均匀性控制 电参量 单线圈 电子回旋共振化
【项目承办单位】 苏州大学;
【项目负责人】 辛煜;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 物理学
【科研经费】 32万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】 研究重点放在大面积多线圈的ICP等离子体耦合特性以及等离子体均匀性方面。通过对单线圈ICP等离子体的耦合特性研究提出一个基本的等离子体阻抗模型,为确定多线圈ICP等离子体的网络匹配参数提供依据;研究多线圈的几何结构、位形配置、线圈之间的互感等对等离子体的电子温度、密度以及能量分布的影响规律;阐明宏观参量对产生大面积均匀等离子体行为规律的影响,找到其与基片均匀刻蚀之间的内在联系,为满足深亚微米线宽微电子器件对大尺寸基片和满足大面积衍射光学元件的刻蚀需求给出根据。;
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2002-12-16
    【申请截止时间】 2003-03-31
    【立项时间】 2004-01
    【完成时间】 2006-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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