肖增文
【姓名】 肖增文
【职称】
【研究领域】 金属学及金属工艺;无线电电子学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 纳米线宽,直方图,边缘粗糙度,线宽测量,纳米计量,原子力显微镜,尺度线,最小二乘,计算模型,探针,刻线,纳米尺度,纳米,包装带,SPIE,边缘提取,拟合,腈纶丝,NIST,曲线拟合,Metro,探针测...
【工作单位】 哈尔滨工业大学
【曾工作单位】 哈尔滨工业大学;
【所在地域】 黑龙江哈尔滨
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[1]肖增文;赵学增;储巍;李洪波;.顶部线宽中曲线匹配法测量线宽的研究[J]计量技术.2006,(06)
[2]肖增文;赵学增;李洪波;.AFM轻敲模式中微悬臂振动的研究[J]振动与冲击.2006,(05)
[3]赵学增;李洪波;褚巍;肖增文;李宁;.基于计量学的线边缘粗糙度定义[J]机械工程学报.2007,(01)
[4]褚巍,赵学增,肖增文,王伟杰.纳米尺度线宽的测量与Nano1国际关键比对[J]中国计量学院学报.2003,(03)
[5]王凌,赵学增,褚巍,肖增文,王飞.一个基于直方图的纳米尺度线宽计算模型[J]计量技术.2004,(03)
[6]李洪波,赵学增,肖增文,褚巍,王凌.一种基于图像处理的半导体刻线边缘粗糙度的确定方法[J]计量技术.2004,(09)
[7]肖增文,赵学增,侯国章,陈芳.腈纶丝生产中的包装带自动热合机的研制[J]机床与液压.2004,(12)
[8]褚巍,赵学增,肖增文,王凌.纳米尺度线宽测量技术的研究[J]东北电力学院学报.2004,(04)
[9]褚巍,赵学增,Joseph Fu,肖增文.基于最小二乘拟合的不同探针测量线宽的比较[J]哈尔滨工业大学学报.2004,(11)
[10]李洪波,赵学增,褚巍,肖增文.半导体工业中临界尺寸线边缘粗糙度的测量[J]哈尔滨工业大学学报.2005,(05)
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