John
【姓名】 John
【职称】
【研究领域】 材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 线宽,计量模型,纳米计量,尺度线,原子力显微镜,边墙,算法,纳米,样本,线宽测量,测量结果,纳米尺度,探针,标准方差,轮廓拟合,拟合,NIST,刻线,模型和算法,Metro,
【工作单位】 美国国家标准与技术研究院
【曾工作单位】 美国国家标准与技术研究院;
【所在地域】 马里
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[1]赵学增,褚巍,Theodore V Vorburger,Joseph Fu,John Song,Cattien V Nguyen.基于AFM的纳米尺度线宽计量模型及其算法的研究[J]机械工程学报.2004,(04)
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