褚巍
【姓名】 褚巍
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;无线电电子学;金属学及金属工艺;
【研究方向】 纳米尺度表面测量技术
【发表文献关键词】 Nano1,线宽,纳米线宽,比对,直方图,纳米计量,CD测量,尺度线,原子力显微镜,计量模型,线宽测量,边缘粗糙度,纳米,计算模型,边墙,最小二乘,刻线,探针,算法,纳米尺度,SPIE,边缘提取,拟合...
【工作单位】 哈尔滨工业大学
【曾工作单位】 哈尔滨工业大学;
【所在地域】 哈尔滨
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[1]赵学增;李宁;褚巍;周法权;周瑞;.基于平稳小波变换的纳米尺度线边缘粗糙度分析方法(英文)[J]纳米技术与精密工程.2009,(02)
[2]李洪波;赵学增;褚巍;.刻线边缘表面重构及其边缘粗糙度测量[J]光电子.激光.2009,(12)
[3]赵学增;李洪波;褚巍;肖增文;李宁;.基于计量学的线边缘粗糙度定义[J]机械工程学报.2007,(01)
[4]王岳宇;赵学增;褚巍;.用于减小控制对测量影响的AFM新工作模式[J]纳米技术与精密工程.2008,(06)
[5]王岳宇;赵学增;褚巍;.基于表面形貌空间频率特征的AFM操作模式(英文)[J]纳米技术与精密工程.2008,(04)
[6]李宁;赵学增;褚巍;李洪波;.基于AFM的刻线边缘粗糙度幅值与空间频率的表征方法[J]纳米技术与精密工程.2008,(05)
[7]褚巍,赵学增,肖增文,王伟杰.纳米尺度线宽的测量与Nano1国际关键比对[J]中国计量学院学报.2003,(03)
[8]王凌,赵学增,褚巍,肖增文,王飞.一个基于直方图的纳米尺度线宽计算模型[J]计量技术.2004,(03)
[9]赵学增,褚巍,Theodore V Vorburger,Joseph Fu,John Song,Cattien V Nguyen.基于AFM的纳米尺度线宽计量模型及其算法的研究[J]机械工程学报.2004,(04)
[10]李洪波,赵学增,肖增文,褚巍,王凌.一种基于图像处理的半导体刻线边缘粗糙度的确定方法[J]计量技术.2004,(09)
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