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金洙吉

【姓名】	金洙吉
【职称】	教授;
【研究领域】	金属学及金属工艺;无线电电子学;无机化工;
【研究方向】	半导体与光电晶体基片的超精密加工技术、快速模具制造技术等
【发表文献关键词】	化学机械抛光,抛光液,铜布线,材料去除机理,甚大规模集成电路,ULSI,铜化学机械抛光,腐蚀磨损,化学机理,铜化学机械抛光(CMP),摩擦系数,技术分析,磨料,化学腐蚀,硅片,平坦化,抛光垫,磨削纹理...
【工作单位】	大连理工大学
【曾工作单位】	大连理工大学;
【所在地域】	大连

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
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中国期刊全文数据库 共找到132篇

[1]牛昊;金洙吉;沈煜;杨辉鹏;.用于金刚石摩擦化学抛光的Ni-W合金盘制备[J]金刚石与磨料磨具工程.2024,(01)

[2]袁菘;郭晓光;金洙吉;康仁科;郭东明;.金刚石高效超低损伤加工机理与工艺研究现状[J]机械工程学报.2024,(03)

[3]安志博;金洙吉;姜冠楠;王磊;王洪超;.金刚石抛光用镍钨合金镀层的电镀制备工艺[J]电镀与精饰.2023,(01)

[4]孟德琳;金洙吉;周平;.抛光轮表面形貌对抛光斑质量影响[J]机械工程师.2023,(01)

[5]赵勇;郭江;冯健;王钦强;龙鹏宇;张金龙;张林伟;王朔;孟令刚;金洙吉;康仁科;.面向金属基材的清洗技术及清洁度评价方法研究新进展[J]机械工程学报.2023,(13)

[6]王磊;吴润泽;牛林;安志博;金洙吉;.碳化硅晶体电化学机械抛光工艺研究[J]金刚石与磨料磨具工程.2022,(04)

[7]殷森;鲍岩;潘延安;董志刚;金洙吉;康仁科;.具有多级放大功能的超声椭圆振动切削装置的设计[J]机械工程学报.2022,(11)

[8]元良月;金洙吉;牛林;.电解磨削加工注射器针尖工艺研究[J]现代制造技术与装备.2022,(09)

[9]张自力;金洙吉;慕卿;杨辉鹏;韩晓龙;.钇铝石榴石晶体化学机械抛光液成分优化研究[J]金刚石与磨料磨具工程.2021,(02)

[10]马堃;金洙吉;董志刚;朱祥龙;康仁科;.化学机械抛光机的抛光盘面形在位测量研究[J]组合机床与自动化加工技术.2021,(06)

中国重要会议全文数据库 共找到10篇

[1]吴頔;康仁科;郭江;刘作涛;金洙吉;.一种用于铜电化学机械抛光的羟基乙叉二膦酸基电解液的反应机理[A].第18届全国特种加工学术会议论文集（摘要）.2019-07-31

[2]李娟;杨晓龙;周诗宁;金洙吉;徐文骥;.铝基超疏水表面亲水微坑粘附性能研究[A].第16届全国特种加工学术会议论文集（上）.2015-10-31

[3]徐文骥;卢毅申;方建成;邓琦林;金洙吉;刘爱华;.水溶性原模等离子熔射成形法制造零件[A].第八届全国电加工学术年会论文集.1997-08-01

[4]金洙吉;徐文骥;方建成;.不锈钢管内圆表面磁力研磨加工实验研究[A].特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集.2001-06-30

[5]徐文骥;金洙吉;邓琦林;方建成;卢毅申;.等离子体加工技术在模具制造中的应用[A].特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集.2001-06-30

[6]金洙吉;徐文骥;方建成;.不锈钢管内圆表面磁力研磨加工实验研究[A].2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集.2001-11-01

[7]徐文骥;金洙吉;邓琦林;方建成;卢毅申;.等离子体加工技术在模具制造中的应用[A].2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集.2001-11-01

[8]郭东明;康仁科;金洙吉;.大尺寸硅片的高效超精密加工技术[A].制造业与未来中国——2002年中国机械工程学会年会论文集.2002-12-01

[9]田业冰;郭东明;康仁科;金洙吉;.大尺寸硅片自旋转磨削的试验研究[A].全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集（二）.2004-06-01

[10]苏建修;郭东明;康仁科;金洙吉;李秀娟;.硅片化学机械抛光时硅片运动形式对片内非均匀性的影响分析[A].全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集（二）.2004-06-01

承担国家科研项目 共找到2个

[1]金洙吉;.大尺寸金刚石晶圆高效超精密平坦化理论和技术研究[A].大连理工大学;.项目经费 24万元.2005-03-31.资助文献数 0 篇

[2]金洙吉.ULSI制造中的铜互连层低压力平坦化技术基础[A].大连理工大学.项目经费 50万元.2009-03-20.资助文献数 0 篇