| 【项目名称】 |
大尺寸金刚石晶圆高效超精密平坦化理论和技术研究 |
| 【项目编号】 |
50575034 |
| 【项目目标】 |
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| 【项目关键词】 |
平坦化 晶圆 超精密 大尺寸 金刚石 |
| 【项目承办单位】 |
大连理工大学; |
| 【项目负责人】 |
金洙吉; |
| 【项目来源】 |
国家自然科学基金项目 |
| 【涉及学科】 |
矿业工程 |
| 【科研经费】 |
24万 |
| 【所属大项目】 |
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| 【项目参与研究人员】 |
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| 【项目参与研究机构】 |
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| 【项目成果摘要】 |
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| 【发布单位】 |
国家自然科学基金委员会 |
| 【发布时间】 |
2004-12-07 |
| 【申请截止时间】 |
2005-03-31 |
| 【立项时间】 |
2006-01 |
| 【完成时间】 |
2008-12 |
| 【申请条件】 |
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| 【联系方式】 |
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| 【项目信息来源】 |
https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp |