张文栋
【姓名】 张文栋
【职称】 教授;
【研究领域】 仪器仪表工业;自动化技术;工业通用技术及设备;
【研究方向】 微型机电系统
【发表文献关键词】 白光干涉,MEMS,三维形貌测试,砷化镓,MEMS/NEMS,表面轮廓测量,模板,相位解包裹,边缘检测,微电子机械系统,微机械加工技术,光干涉原理,槽结构,测量,共振隧穿薄膜,介观压阻效应,砷化镓基微...
【工作单位】 中北大学
【曾工作单位】 中北大学;华北工学院;清华大学;太原机械学院;北京理工大学;
【所在地域】 山西太原
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中国期刊全文数据库    共找到239篇
[1]陈谋;何常德;孟亚楠;张斌珍;任勇峰;张文栋;.面向电容式微机械超声换能器器件的32通道收发电路设计与测试[J]应用声学.2022,(03)
[2]索文宇;张文栋;任勇峰;吴敏;吴子君;何常德;.直流偏置对电容式微机械超声换能器性能影响的研究[J]机械制造与自动化.2022,(05)
[3]王月;何常德;张文栋;.CMUT面阵制备中的硅通孔金属互连工艺设计[J]现代电子技术.2021,(03)
[4]郑永秋;张瀚升;张成飞;杜春晖;张文栋;.基于超声回波的推进剂动态燃速测量系统设计[J]中北大学学报(自然科学版).2021,(01)
[5]王月;何常德;张文栋;.基于Si-SOI键合工艺的CMUT二维面阵研制[J]压电与声光.2021,(04)
[6]张鹏飞;王任鑫;白建新;张文栋;.一种电容式声压水听器的热粘性声学仿真研究[J]压电与声光.2019,(06)
[7]张瀚升;杜春晖;李国才;郑永秋;张文栋;.面向固体发动机动态燃速测试的碳纤维复合材料超声衰减特性[J]测试技术学报.2020,(02)
[8]张鹏飞;王任鑫;李照东;张文栋;.基于热粘性声学的电容式声压水听器[J]微纳电子技术.2020,(07)
[9]张永威;谭秋林;张文栋;.一种基于氧化石墨烯的高性能声表面波湿度传感器[J]微纳电子技术.2020,(09)
[10]郭欣榕;张永威;谭秋林;张文栋;.新型声表面波三轴加速度传感器的设计仿真[J]压电与声光.2020,(05)
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中国重要会议全文数据库    共找到12篇
[1]张兰胜;张国军;徐庆达;纪松祥;杨溪;张文栋;.声压-声压梯度复合式水听器的设计[A].2019年全国声学大会论文集.2019-09-21
[2]郭明;何常德;郑永秋;张文栋;.电容式微机械加工超声换能器的信号采集[A].2016年全国声学学术会议论文集.2016-10-28
[3]张文栋;董海峰;.微型爆破缓冲抗高过载数据采集系统设计[A].新世纪 新机遇 新挑战——知识创新和高新技术产业发展（上册）.2001-09-13
[4]张文栋;熊继军;薛晨阳;丑修建;.基于白光干涉法的双波段三维形貌测试系统[A].2010中国仪器仪表学术、产业大会（论文集1）.2010-11-10
[5]张文栋;李永红;刘俊;董海峰;.简易微型惯性测量组合技术及其应用[A].西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集.2000-06-30
[6]熊继军;张文栋;薛晨阳;桑胜波;周兆英;.拉曼光谱应用于硅微悬臂梁的应力特性测试[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（二）.2005-08-01
[7]陈建军;薛晨阳;张斌珍;张文栋;.解理硅微结构的声子形变潜能[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
[8]桑胜波;薛晨阳;熊继军;张文栋;.基于拉曼光谱的微结构应力测试方法[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）.2005-08-01
[9]戴金洲;杨亦春;李晓东;张文栋;.空-水联合检测飞机目标的方法[A].中国声学学会2006年全国声学学术会议论文集.2006-10-01
[10]胡杰;薛晨阳;张文栋;熊继军;张斌珍;.GaAs基共振隧穿微加速度计的研究[A].第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集.2007-08-01
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承担国家科研项目    共找到3个
[1]张文栋;.芯片级高Q值平面环形微腔的制造及非线性光学特性研究[A].中北大学;.项目经费 30万元.2007-03-31.资助文献数 2 篇
[2]张文栋;.纳机电微声传感器研究[A].中北大学;.项目经费 26万元.2003-03-31.资助文献数 38 篇
[3]张文栋;赵俊东.基于VLSI的自适应智能三轴加速度传感器研究[A].中北大学;成均馆大学.项目经费 -.2010-01-15.资助文献数 0 篇
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