纳机电微声传感器研究
【项目名称】 纳机电微声传感器研究
【项目编号】 50375050
【项目目标】
【项目关键词】 微声 负阻区 传感器研究 微加速度计 水声传感器 复合量 机电 压力传感器 共振隧穿 共振隧穿二极管 压阻式 梳齿 微机械陀螺 角速率传感器 硅微 结构仿真 机械陀螺 支撑梁 仿生学原理 控制孔 矢量 静电键合 GaAs 指向性 弹性系数 阻尼 陀螺 支撑系统 式微 传感器 仿生 微机?
【项目承办单位】 中北大学;
【项目负责人】 张文栋;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 仪器仪表工业
【科研经费】 26万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2002-12-16
    【申请截止时间】 2003-03-31
    【立项时间】 2004-01
    【完成时间】 2006-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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