直流/高功率脉冲磁控共溅射制备金属薄膜微结构和性能研究

【作者】 黄敏;

【导师】 王红斌; 易勇; 何智兵; 刘艳松;

【作者基本信息】 西南科技大学 , 材料科学与工程, 2022, 硕士