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中国优秀硕士学位论文全文数据库
28纳米集成电路工艺金属层OPC模型的开发
【作者】
陈权
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【导师】
段力(Franklin Li Duan);
毛智彪;
【作者基本信息】
上海交通大学
, 集成电路工程(专业学位), 2016, 硕士