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中国优秀硕士学位论文全文数据库
脉冲调制射频感性耦合Ar/O
2
混合放电的实验研究
【作者】
刘晓华
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【导师】
王友年;
【作者基本信息】
大连理工大学
, 等离子体物理, 2012, 硕士