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中国优秀硕士学位论文全文数据库
原子层沉积制备的HfO
2
高K栅介质材料特性研究
【作者】
张俊杰
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【导师】
孙甲明;
【作者基本信息】
南开大学
, 凝聚态物理, 2010, 硕士