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中国博士学位论文全文数据库
LIGA技术制作高性能微电子机械模具及其脱模性能的研究
【作者】
郭育华
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【导师】
田扬超;
刘刚;
【作者基本信息】
中国科学技术大学
, 核技术及应用, 2007, 博士