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磁控管阴极电子回轰能量与二次电子发射优化仿真研究

Optimization Simulation Research on Electron Backscattering Energy and Secondary Electron Emission in Magnetron Cathode

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【作者】 东智尖木措柳建龙曾葆青

【Author】 Dong ZhiJianMuCuo;Liu Jianlong;Zeng Baoqing;National Key Laboratory of Science and Technology on Vacuum Electronics, School of Electronic , Science and Engineering, University of Electronic Science and Technology of China;

【机构】 电子科技大学电子科学与工程学院,大功率微波真空器件技术国防重点实验室,微波能应用研究实验室

【摘要】 本文对冷阴极磁控管阴极二次电子发射系数(secondary electron emission coefficient, δ)以及产生二次电子的电子回轰能量之间的关系进行了研究,通过有限元分析软件对冷阴极磁控管进行模拟,得到在不同电子回轰能量下磁控管阴极二次系数会随之变化,并且阴极在特定的回轰能量段存在二次电子发射系数的最优值。

【Abstract】 This research explores the correlation between the factors affecting the secondary electron emission coefficient(δ) and electron backscattering energy in magnetron cathodes. Based on the implementation of finite element analysis software, a simulation of a cold cathode magnetron is conducted. The study discovers that the secondary coefficient of the magnetron cathode is subject to variation with different electron backscattering energies. Furthermore, the cathode exhibits an optimal value of the secondary electron coefficient in a specific range of backscattering energies.

【基金】 国家自然科学基金(No.61531010);中国高校基本科研业务费基金;国家真空电子科学技术重点实验室(No.6142807190205)
  • 【会议录名称】 第二十届全国微波能应用学术会议论文集
  • 【会议名称】第二十届全国微波能应用学术会议
  • 【会议时间】2023-07-24
  • 【会议地点】中国山东烟台
  • 【分类号】TN123
  • 【主办单位】中国电子学会
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