狭缝光学天线对的近场耦合及其在纳米位移测量中的应用

【作者】 鲁拥华； 臧天阳； 臧浩峰； 王浩宇； 王沛；

【机构】 中国科学技术大学光学与光学工程系光电子科学与技术安徽省重点实验室；

【摘要】 <正>纳米精度的位移测量对于微纳加工、精密控制、半导体器件等领域都具有重要的意义。光学测距具有精度高、非接触的优点,一直是光学计量领域的重要研究方向。常见的光学测距一般利用光学干涉进行纵向距离的测量,横向高精度纳米位移测量仍然是一个亟待研究的问题。在这个报告中,首先介绍了基于纳米结构散射的横向高精度位移测量的研究状况,然后着重介绍我们最近在这个课题上的研究进展。我们研究了金属纳米天线对之间的近场耦合效应,结合空间结构光场实现了对表面等离激元(SPP)的非对称激发。实验证明通过测量SPP的非对称性可以实现对样品横向位移的高精度测量,测量精度优于5 nm。更多还原