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薄膜生长设备中近红外宽光谱监控系统的研制
【作者】 郑玉祥； 陈良尧； 张荣君； 陆卫杰； 蔡清元； 张冬旭；
【机构】 复旦大学光科学与工程系微纳光子结构教育部实验室；
【摘要】 <正>薄膜材料与器件已大量应用于微电子、光通讯、光传感、光存储等光电子产业中,应用前景光明。为了提高薄膜质量,通常需要对薄膜生长过程进行实时监控。宽光谱监控方法因其能实时追踪薄膜光谱的变化,并能监控非λ/4膜系而逐渐为人们所关注。这种监控方法突破了传统的石英晶振监控和单波长监控等方法的单一性和局限性,通过在特定波长范围内实时测量和分析被镀薄膜的
【基金】 自然科学基金项目(60778028,60938004);上海市科委基础项目(08DZ1204600)资助
- 【会议录名称】 TFC’11全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集
- 【会议名称】TFC’11全国薄膜技术学术研讨会
- 【会议时间】2011-08-25
- 【会议地点】中国江西南昌
- 【分类号】TB383.2;TP277
- 【主办单位】中国真空学会薄膜专业委员会