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基于FeCo点阵薄膜的SAW电流传感器理论分析

Theoretical analysis of saw current sensor based on FeCo dot-film

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【作者】 贾雅娜； 王文； 薛旭峰； 梁勇；

【Author】 JIA Ya-na;WANG Wen;XUE Xu-feng;LIANG Yong;Ultrasound technology center, Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences;

【机构】 中国科学院声学研究所超声技术中心实验室；

【摘要】 <正>0引言明显的磁滞效应一直是沉积磁致伸缩铁钴（FeCo）薄膜的声表面波（SAW）磁传感器的瓶颈问题,对此本文提出FeCo薄膜的点阵式设计以提高传感器的灵敏度。传感器以128oYX-LiNbO3为压电基片,延迟线的声传播路径上沉积的FeCo点阵薄膜在被测电流作用下发生磁致伸缩应变,引起声

  • 【会议录名称】 2018年全国声学大会论文集 G微声学
  • 【会议名称】2018年全国声学大会
  • 【会议时间】2018-11-10
  • 【会议地点】中国北京
  • 【分类号】TP212
  • 【主办单位】中国声学学会
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