基于光谱估计的光学元件表面疵病检测

【作者】 杨言若； 步扬； 徐静浩； 王少卿； 王向朝；

【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所； 中国科学院大学；

【摘要】 <正>光学元件经抛光加工后元件表面尚存在有麻点、划痕等疵病。在精密光学系统中,光学元件表面疵病引起衍射而产生噪声光斑,使系统精度降低。同时表面疵病还会吸收大量光能量,产生热应力,使光学元件表面甚至整个光学系统遭受破坏。因此,光学元件表面疵病的检测是精密光学元件应用的前提。目前主要的表面检测方法为基于白光照明和传统光学显微成像术的暗场成像法,该方法使用黑白CCD为成像装置、白光作为照明光源对疵病进行检测,疵病的细节信息容更多还原