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金属辅助透明导电键合的GaAs量子点硅基混合激光器
【作者】 秦璐； 许兴胜； 徐波； 张连学； 葛超洋； 冉广照；
【机构】 中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室； 中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室； 北京大学物理学院；
【摘要】 设计并生长了发光波长1200-1300纳米GaAs基量子点材料,制作了利用ITO透明导电层作为N型电极InAs/GaAs量子点激光器结构,利用金属In与SOI波导材料辅助键合,测量了器件的电学和光学特性。
- 【会议录名称】 第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会会议论文集
- 【会议名称】第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会
- 【会议时间】2017-05-25
- 【会议地点】中国福建厦门
- 【分类号】TN248
- 【主办单位】厦门大学物理科学与技术学院、浙江大学硅材料国家重点实验室