SOI上FP-Slot波导混合集成阵列光源的研制——4通道混合集成多波长激光器阵列和4波长混合集成光源模块

【作者】 戴兴； 葛超洋； 李梦珂； 李召松； 李稚博； 周旭亮； 陈娓兮； 冉广照； 于红艳； 潘教青；

【机构】 中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室； 北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室；

【摘要】 <正>硅与III-V族激光器混合集成是目前实现硅基激光最有效且最有可能实现实用化的方案之一。本课题组和北京大学合作,采用选区金属键合的方案已经实现了几种硅基激光器,其中最具代表性的结构是掩埋脊波导(Buried Ridge Waveguide:BRS)硅基键合激光器[1],并通过在硅波导上刻蚀DBR光栅的方法,利用光栅的反馈作用进行选模并获得硅基上的单模输出[2]。但是光栅结构需要更多还原