基于表面等离基元超材料的TM偏振Ⅲ-V/Si混合激光器

【作者】 葛超洋； 张连学； 方鑫； 翟文豪； 田程； 李艳平； 冉广照；

【机构】 北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室；

【摘要】 <正>由于Ⅲ-V族材料的能带特点,无应变或压应变量子阱激光器发出的通常为TE模式的光,而TM模式的光有包括偏振复用在内的多种应用前景。为此,我们采用了表面等离基元超材料,基于一种全新的偏振转换原理,制作了以TM偏振模式为主要输出的Ⅲ-V/Si混合激光器。我们利用成熟的选区金属键合技术在SOI衬底上制作了硅基Ⅲ-V混合激光器,如图1(a)所示。并在激光器的输出波导上沉积一段长度约为15μm,厚度约更多还原