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DC-PCVD金刚石膜高温氧化行为
【机构】 牡丹江师范学院；
【摘要】 采用热失重(TGA)分析法研究DC-PCVD金刚石膜的高温氧化行为,利用扫描电镜SEM、XRD和Raman观察和分析膜层氧化前后表面形貌变化、相组成及成份变化。发现金刚石膜大约在650℃开始氧化,随着温度的升高氧化速率加快,800℃氧化30s就完全变成粉末。CVD金刚石膜氧化的开始阶段主要集中在晶界、表面孔洞、位错等缺陷处,之后金刚石膜的晶面开始被刻蚀,出现大量的凹坑,表面粗糙度增大。CVD金刚石膜的氧化经历了膜层表面氢的解吸和氧的吸附,膜层与氧发生化学反应及氧化产物(CO、CO2)的解吸。氧化过程中没有石墨及非金刚石相产生,所以在较低温度下较短时间适当的氧化,有利于消除膜中的非晶刚石相,使膜层得到净化;XRD测试表明:(111)晶面氧化速度较(110)晶面快。
- 【会议录名称】 第十九届全国高技术陶瓷学术年会摘要集
- 【会议名称】第十九届全国高技术陶瓷学术年会
- 【会议时间】2016-10-11
- 【会议地点】中国湖北武汉
- 【分类号】TQ163;TB383.2
- 【主办单位】中国硅酸盐学会特种陶瓷分会