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铈钇共掺BST薄膜结构及介电性能

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【作者】 廖家轩； 尉旭波； 徐自强； 汪澎； 魏雄邦；

【机构】 电子科技大学电子科学技术研究院；

【摘要】 <正>用改性溶胶-凝胶法制备铈钇共掺钛酸锶钡(Ba0.6Sr0.4TiO3,BST)薄膜,研究薄膜的结构及介电性能,并与未掺杂、铈掺杂、钇掺杂BST薄膜比较。X-射线衍射表明,薄膜均为顺电相立方结构,掺杂有助于衍射峰宽化,但单掺和共掺的差别不明显。原子力显微镜表明,共掺薄膜呈类外延生长,表面形貌比单掺薄膜

  • 【会议录名称】 第十六届全国高技术陶瓷学术年会摘要集
  • 【会议名称】第十六届全国高技术陶瓷学术年会
  • 【会议时间】2010-10-22
  • 【会议地点】中国江西景德镇
  • 【分类号】TB383.2
  • 【主办单位】中国硅酸盐学会特种陶瓷分会
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