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成份改变对BCN薄膜结构和纳米力学性能的影响
【机构】 东北林业大学工程技术学院； 哈尔滨工业大学材料科学与工程学院；
【摘要】 本文利用直流磁控溅射技术制备了三元BCN薄膜,通过调节B4C/石墨复合靶的励磁线圈电流的大小,影响复合靶表面的磁场状态,改变对离子束的束缚能力,进而达到控制薄膜中B、C含量的目的。励磁线圈
- 【会议录名称】 第十五届全国高技术陶瓷学术年会摘要集
- 【会议名称】第十五届全国高技术陶瓷学术年会
- 【会议时间】2008-09-21
- 【会议地点】中国辽宁沈阳
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国硅酸盐学会特种陶瓷分会