【作者】 刘振良； 廖志君； 范强； 杨水长； 伍登学；
【机构】 四川大学物理系和辐射物理与技术教育部重点实验室；
【摘要】 本文将探讨用电子束蒸发的方法在单晶硅(100)基片上制备了硼碳氮薄膜,通过椭圆偏振仪,X衍射光谱,傅立叶红外光谱.测试分析了厚度均匀性与成分结构.分析表明,薄膜光滑致密,均匀性较好,衬底温更多还原
