PVAC抑制PT铁电薄膜裂纹的研究

【作者】 李海燕； 吴小清； 郝海燕；

【机构】 西安交通大学电子材料研究所；

【摘要】 通过添加聚醋酸乙烯酯（PVAC）,利用MOD（金属有机化合物热沉积）法制备出了单层厚度为0.78μm无裂纹的结构致密的PT铁电薄膜;利用红外光谱、扫描电镜（SEM）和XRD等分析手段研究了薄膜的形成机理、表面形貌及相结构;对先驱体溶液做了TGA和DTA的分析,讨论了聚醋酸乙烯酯（PVAC）抑制裂纹的原因。结果表明:薄膜表面结构致密,属四方钙钛矿结构;聚醋酸乙烯酯能与钛酸丁脂生成聚乙烯钛酸三丁脂（-[CH₂-CH]-_nO-Ti[O（CH₂）₃CH₃]₃）,并且聚醋酸乙烯酯中的-COO^-能和溶剂中的-OH形成氢键,这有利于在薄膜内形成立体网状结构,这种网状结构增强了薄膜的弹性,减小了薄膜的内应力,抑制了裂纹的产生;同时聚醋酸乙烯酯使薄膜的晶化温度从550℃降低到500℃。更多还原