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Ga2O3薄膜材料氧敏性能的研究
【机构】 天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室；
【摘要】 <正>本文采用无机盐溶胶-凝胶法,合成了目前常用PVD方法制备的氧化镓n型半导体薄膜材料,并研究了其氧敏特性。实验以三氯化镓为原料,水为溶剂,柠檬酸为络合剂,乙二醇
- 【会议录名称】 第十三届全国高技术陶瓷学术年会摘要集
- 【会议名称】第十三届全国高技术陶瓷学术年会
- 【会议时间】2004-10-14
- 【会议地点】中国辽宁大连
- 【分类号】TB383.2
- 【主办单位】中国硅酸盐学会特种陶瓷分会