可见短波红外碲镉汞焦平面器件响应光谱测量及理论分析

【作者】 樊华； 王溪； 魏彦锋； 廖清君； 胡晓宁；

【机构】 中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室； 中国科学院大学；

【摘要】 碲镉汞(Hg_1-xCd_xTe)红外焦平面器件可通过去衬底技术将响应波段从红外拓展到可见光,实现可见到短波红外的宽谱探测,对高光谱成像系统的小型化和微型化具有重要意义。本文重点研究了碲镉汞焦平面器件在可见短波红外的响应光谱,搭建了可见短波红外光栅光谱测试系统,并结合傅立叶红外光谱测试,测量了碲镉汞焦平面器件在0.5-3.1μm的响应光谱,器件截止波长约为2.79μm。并采用一维漂移扩散理论模型对响应光谱进行了分析,吸收层厚度、界面产生复合速率等都会对器件的响应光谱产生影响。更多还原