近场显微成像法识别激光负载镜片薄膜内部缺陷的研究

【作者】 白忠臣； 黄兆岭； 郝礼才； 陆安江； 秦水介；

【机构】 贵州大学贵州省光电子技术及应用重点实验室； 贵州大学大数据与信息工程学院；

【摘要】 <正>激光器负载镜片薄膜表面和内部的缺陷是影响激光负载能力重要因素,决定着高功率激光系统输出能力、稳定性和寿命等指标。尤其针对薄膜内部的小于1μm以下的缺陷,传统的光学方法是难以直接识别,故,快速无损地识别薄膜内部的缺陷对于研究缺陷的成因,提升高功率激光负载的能力及稳定性等有重要的意义。本研究以孔径SNOM针尖透射的倏逝波与薄膜的缺陷相互作用的原理为基本出发点,研究了高功率更多还原