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对大尺寸全息光栅曝光系统中干涉条纹锁定技术的研究
【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所；
【摘要】 <正>大尺寸全息光栅曝光时,由于干涉曝光区域面积较大,在外界环境的长时间干扰下,曝光条纹的空间周期和姿态都可能发生变化,因而曝光条纹的锁定不仅包括平移,还包括空间周期及条纹旋转角度的锁定。通过曝光光栅上下左右四组条纹监视系统,编写基于lab VIEW的监视程序,使用PZT补偿光路,实现了曝光条纹的状态锁定。条纹监视系统由参考光栅、毛玻璃、中继镜和CCD构成,参考光栅的光栅常数为曝光
- 【会议录名称】 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
- 【会议名称】第十六届全国光学测试学术交流会
- 【会议时间】2016-09-25
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】O436.1
- 【主办单位】中国光学学会光学测试专业委员会