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光刻机偏振照明系统偏振态测量实验结果
【机构】 中国科学院上海光学精密机械研究所；
【摘要】 <正>偏振照明系统是浸液光刻机增强分辨率的标准配置,针对浸液光刻机偏振照明系统在安装集成时偏振参数检测的需求,本课题组设计制造了一套偏振照明系统偏振态检测装置,为偏振照明系统安装集成时的故障诊断、性能评估等提供依据。该偏振检测装置实验的配置如图1所示,在传统光刻照明系统中增加偏振分束棱镜PBS产生X方向
- 【会议录名称】 第十六届全国光学测试学术交流会摘要集
- 【会议名称】第十六届全国光学测试学术交流会
- 【会议时间】2016-09-25
- 【会议地点】中国上海
- 【分类号】TN305.7
- 【主办单位】中国光学学会光学测试专业委员会