【作者】 崔新强； 郭向朝； 陈佳； 李海兵；

【Author】 Cui xinqiang;Guo xiangchao;Chen jia;Li haibing;Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences;

【机构】 中科院上海光学精密机械研究所；

【摘要】 由于膜层与石英玻璃性能的差异,在石英玻璃金属化过程中出现诸如膜层结合强度低、膜层与焊料润湿性不好及膜层应力较大导致膜层针孔起皮等问题;针对具体问题,结合实际情况,对如上问题进行了一系列探索,采取不同措施,解决实际中的问题。更多还原

【Abstract】 Because of the difference between the film and the quartz,there are such problems in metallization process such as low bonding strength,poor wettability and the film stress;combined with the actual situation,carried out a series of exploration of the above problems,take different measures to solve the practical problems.更多还原